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T-shaped shallow trench isolation with an unfilled floating void / Irrera, Fernanda; Puzzilli, Giuseppina; L., Ricci; F., Russo; F., Stirpe. - In: SOLID-STATE ELECTRONICS. - ISSN 0038-1101. - 52:(2008), pp. 1188-1192. [10.1016/j.sse.2008.05.002]

T-shaped shallow trench isolation with an unfilled floating void

IRRERA, Fernanda;PUZZILLI, Giuseppina;
2008
2008
01 Pubblicazione su rivista::01a Articolo in rivista
T-shaped shallow trench isolation with an unfilled floating void / Irrera, Fernanda; Puzzilli, Giuseppina; L., Ricci; F., Russo; F., Stirpe. - In: SOLID-STATE ELECTRONICS. - ISSN 0038-1101. - 52:(2008), pp. 1188-1192. [10.1016/j.sse.2008.05.002]
01a Articolo in rivista
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