Low-k dielectrics for STI in nanoscaled CMOS imagers / Irrera, Fernanda; Puzzilli, Giuseppina; L., Ricci; F., Russo; F., Stirpe. - STAMPA. - (2008). (Intervento presentato al convegno WORKSHOP ON DIELECTRICS IN MICROELECTRONICS tenutosi a BERLIN nel 2008).
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