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Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure / P., Danesh; M., Kalitzova; B., Pantchev; S., Simov; C., De Blasi; Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - STAMPA. - 47:(1988), pp. 301-307. [10.1007/BF00615936]

Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure

VITALI, Gianfranco;ROSSI, Marco
1988
1988
01 Pubblicazione su rivista::01a Articolo in rivista
Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure / P., Danesh; M., Kalitzova; B., Pantchev; S., Simov; C., De Blasi; Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - STAMPA. - 47:(1988), pp. 301-307. [10.1007/BF00615936]
01a Articolo in rivista
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