Catalogo dei prodotti della ricerca

Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure / P., D., M., K., B., P., S., S., C., D.B., Vitali, G., Rossi, M.. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - STAMPA. - 47:(1988), pp. 301-307. [10.1007/BF00615936]

Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure

VITALI, Gianfranco;ROSSI, Marco
1988
1988
01 Pubblicazione su rivista::01a Articolo in rivista
Dependence of glow discharge Si:H:Cl film morphology on diluent gas and SiCl4 partial pressure / P., D., M., K., B., P., S., S., C., D.B., Vitali, G., Rossi, M.. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - STAMPA. - 47:(1988), pp. 301-307. [10.1007/BF00615936]
01a Articolo in rivista
File allegati a questo prodotto
Non ci sono file associati a questo prodotto.

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11573/395762
 Attenzione

Attenzione! I dati visualizzati non sono stati sottoposti a validazione da parte dell'ateneo

Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 5
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 5
social impact