The results obtained by cross-sectional technique applied to Si+-implanted GaAs crystals, thinned by Ar+-milling, are presented. The effects of the disordered layers produced by Ar+-milling have been estimated through high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM).

Influence of Ar-milling on cross-section structure of Gallium Arsenide / Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco; M., Kalitzova; N., Pashov; P., Werner; H., Bartsch. - In: NUOVO CIMENTO DELLA SOCIETÀ ITALIANA DI FISICA. D CONDENSED MATTER, ATOMIC, MOLECULAR AND CHEMICAL PHYSICS, BIOPHYSICS. - ISSN 0392-6737. - STAMPA. - 10:(1988), pp. 221-228. [10.1007/BF02450100]

Influence of Ar-milling on cross-section structure of Gallium Arsenide

VITALI, Gianfranco;ROSSI, Marco;
1988

Abstract

The results obtained by cross-sectional technique applied to Si+-implanted GaAs crystals, thinned by Ar+-milling, are presented. The effects of the disordered layers produced by Ar+-milling have been estimated through high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM).
1988
01 Pubblicazione su rivista::01a Articolo in rivista
Influence of Ar-milling on cross-section structure of Gallium Arsenide / Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco; M., Kalitzova; N., Pashov; P., Werner; H., Bartsch. - In: NUOVO CIMENTO DELLA SOCIETÀ ITALIANA DI FISICA. D CONDENSED MATTER, ATOMIC, MOLECULAR AND CHEMICAL PHYSICS, BIOPHYSICS. - ISSN 0392-6737. - STAMPA. - 10:(1988), pp. 221-228. [10.1007/BF02450100]
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