DESIGN OF A BEAMLINE FOR SOFT AND DEEP LITHOGRAPHY ON THIRD GENERATION SYNCHROTRON RADIATION SOURCE / DI FABRIZIO, E.; Nucara, Alessandro; Gentili, M.; Cingolani, R.. - In: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS. - ISSN 0034-6748. - 70:(1999), pp. 1605-1613. [10.1063/1.1149640]
DESIGN OF A BEAMLINE FOR SOFT AND DEEP LITHOGRAPHY ON THIRD GENERATION SYNCHROTRON RADIATION SOURCE
NUCARA, Alessandro;
1999
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