Reliability of ZrO2 films grown by atomic layer deposition / Caputo, Domenico; Irrera, Fernanda; S., Salerno; S., Spiga; M., Fanciulli. - STAMPA. - (2003), pp. 89-92. (Intervento presentato al convegno 4th European Workshop on Ultimate Integration of Silicon tenutosi a Udine, Italia).

Reliability of ZrO2 films grown by atomic layer deposition

CAPUTO, Domenico;IRRERA, Fernanda;
2003

2003
8890098406
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