Carrier activation in implanted GaAs treated with a combination of thermal and laser annealing / C., Pizzuto; Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco; Zollo, Giuseppe. - STAMPA. - (1994), pp. 847-851. (Intervento presentato al convegno International Conference on Ion Implantation Technology 94 tenutosi a Catania nel 13-17 June).

Carrier activation in implanted GaAs treated with a combination of thermal and laser annealing

VITALI, Gianfranco;ROSSI, Marco;ZOLLO, Giuseppe
1994

1994
International Conference on Ion Implantation Technology 94
04 Pubblicazione in atti di convegno::04b Atto di convegno in volume
Carrier activation in implanted GaAs treated with a combination of thermal and laser annealing / C., Pizzuto; Vitali, Gianfranco; Rossi, Marco; Zollo, Giuseppe. - STAMPA. - (1994), pp. 847-851. (Intervento presentato al convegno International Conference on Ion Implantation Technology 94 tenutosi a Catania nel 13-17 June).
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